1、字意不同

“唯”一般表示应答，集中心思于一点；“惟”的意思“仅”。

2、偏旁不同

“唯”的偏旁是“口”字旁；“惟”的偏旁是“忄”旁。

3、用途不同

“唯”用于古文言文中，也用于现代汉语中；“惟”一般用于文言文中。

4、用法不同

“唯”：形声、本义，急声回答声，只有，只是；以，因为虽然，纵使表示肯定；用于句首，无实义。

“惟”：形声、本义、思考、思念，只有，只是。表示动作、行为的重复，相当于“又”、相当于“犹”、“还”。用在句首，表希望、祈使，表示并列关系，相当于“与”、“和”表示顺承关系，相当于“则”表示让步关系,相当于“即使”、“虽然”。